[teknik vakum] lulu brianni puteri 10209024 2

TEKNIK VAKUM Lulu Brianni Puteri, Tara Raissa Raswan, Gabriella Irene Limanan, Gaby Hanna Sigalingging, Andri Rahmadha ni, Artha Ivonita Simbolon 10209024, 10209037, 10209041, 10209076, 10209084, 10209087 Program Studi Fisika, Institut Teknologi Bandung, Indonesia E-mail : [email protected] Asisten : Fajar M. Subhi/10208046 Tanggal Praktikum : 21 September 2011 Abstrak Praktikum ini bertujuan untuk memahami proses pemvakuman, mendapatkan hubungan antara jumlah partikel dengan tekanan (volume) melal ui persamaan gas ideal dan van der waals, mengamati proses evaporasi unsur akibat pemvakuman dan menjelaskannya melalui prinsip termodinamika, serta dapat memperoleh perubahan laju pemompaan terhadap tekanan, konstanta kebocoran sistem vakum, laju pemvakuman, konduktansi selang, serta tekanan residu. Pada praktiku m ini, metode yang digunakan adalah mengukur perubahan tekanan dan temperatur menggunakan tabung dan pompa vakum, saat pompa vakum dinyalakan dan dimatikan. Dengan bantuan perangkat lunak Matlab pada komputer, data-data yang diperoleh pada praktik um ini akan diplot menjadi grafik untuk men getahui hubungan antara data-data tersebut. Lalu dalam praktikum ini juga dilihat pengaruh perubahan tekanan terhadap volume, dimana prinsip termodinamika dimanfaatkan dalam praktikum ini. Kata Kunci : Konduktansi Selang, Laju Pemvakuman, Tekanan Residu, Throughput, Vakum I. Pendahuluan Secara teori keadaan vakum adalah ruangan tanpa materi di dalamnya. Sedangkan secara praktik, ruang vakum didefiniskan sebagai ruangan yang tekanannya berada jauh dari tekanan atmosfer normal. Untuk membuat ruang vakum dapat digunakan pompa vakum yang prinsip kerjanya adalah memindahkan molekul gas atau uap dari ruang yang dibatasi. Dalam proses pengukuran fisika keadaan vakum sangat dibutuhkan, misalnya untuk meregangkan jarak tempuh partikel sebelum saling bertumbukan agar partikel-partikel dari sumber ke target bergerak tanpa tumbukan (contoh: tabung televisi). Kemudian dapat juga digunakan untuk mengurangi jumlah tumbukan molekular per detik sehingga memperkecil kontaminasi permukaan ruang yang akan divakumkan (contoh: pembuatan lapisan tipis). Secara umum, sistem vakum terdiri dari pompa, selang, dan tabung (vessel). Laju pemvakuman (S), dinyatakan dalam satuan cm 3 /s, dimana S = B V...................................... (1) B didapat dari regresi ekspoensial = − + ....................(2) = − + ....................(3) Nilai S bergantung pada tekanan yang memiliki batas terendah (ultimate pressure/residual pressure)

[teknik vakum] lulu brianni puteri 10209024 2

Documents